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宗楠; 胡蔚敏; 王志敏; 王小军; 张申金; 薄勇; 彭钦军; 许祖彦;
中国科学院固体激光重点实验室 中国科学院理化技术研究所 北京100190;
中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室 中国科学院理化技术研究所 北京100190;
中国科学院大学 北京100049;
13.5 nm极紫外光刻技术; 激光等离子体; 极紫外光源; 转换效率; 光源碎屑; 预脉冲激光;
机译:激光产生的等离子体与激光辅助的放电等离子体:极紫外光刻光源的物理和技术
机译:激光生产的基于等离子体的极紫外光源技术,用于大批量制造极紫外光刻
机译:锡激光产生的等离子体作为极紫外光刻大规模生产的光源:历史,理想的等离子体,现状和前景
机译:极紫外光刻用激光产生等离子体光源的研究进展
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:用于极紫外光刻的紧凑型13.5nm自由电子激光器
机译:用于激光等离子体的极紫外光刻的大固体角度照明器。
机译:极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译:极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及用于极紫外光源装置的激光光源的调整方法
机译:极紫外光源装置,用于极紫外光源的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
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