机译:边缘电容的新公式及其在平行板静电微执行器控制中的应用
Engineering Physics Department école Polytechnique de Montréal C.P. 6079 Succursale centre-ville Montreal QC Canada H3C 3A7;
Electrical Engineering Department école Polytechnique de Montréal C.P. 6079 Succursale centre-ville Montreal QC Canada H3C 3A7;
Engineering Physics Department école Polytechnique de Montréal C.P. 6079 Succursale centre-ville Montreal QC Canada H3C 3A7;
Fringing field effect; Modeling of electrostatic MEMS; FEM based simulation; Input-to-state stabilization; Robust nonlinear control;
机译:边缘电容的新公式及其在平行板静电微执行器控制中的应用
机译:考虑边缘效应的静电驱动执行器的电容和静电力的计算
机译:带静电平行板驱动的单轴微镜的线性化控制
机译:平板静电微执行器的现象寄生性和鲁棒控制研究
机译:MEMS静电平行板致动器的控制。
机译:基于微束静电场驱动的基于微波束的触觉传感器的动力学分析
机译:平行板静电微执行器的现象寄生和鲁棒控制研究
机译:静电驱动双晶片微镜的分段控制。