退火处理对Ti-WO3薄膜的结构和气敏特性的影响

摘要

用X射线衍射和透射电镜表征了直流磁控溅射法制得的Ti-WO3薄膜的晶型、晶格常数、粒径等.研究了退火对Ti-WO3薄膜气敏性质和微结构的影响,找出了最佳退火温度和工作温度;并对机理进行了分析.结果表明:450℃退火的薄膜的气敏效应很好,最佳工作温度在150℃左右;