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公开/公告号CN103201828B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 夏普株式会社;
申请/专利号CN201180053396.0
发明设计人 太田纯史;桥本真人;
申请日2011-10-28
分类号H01L21/324(20060101);H01L21/336(20060101);H01L29/786(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:42:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-29
授权
2013-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20111028
实质审查的生效
2013-07-10
公开
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