光刻机双工件台控制系统任务调度设计

摘要

双工件台系统是光刻机控制系统的核心,在换台系统下工件台要实现两个工件台互换,换台过程复杂且需要宏动电机的配合,为了保证此过程的安全性又有很多的保护限制,过程中对于上位机的一些指令需要实时响应,这对光刻机控制系统的任务调度有很高的要求,既需要实时性,又需要调度的合理性.控制系统采用VxWorks嵌入式实时操作系统,在VxWorks中进行任务调度处理,控制整套系统的执行.本文介绍一种在双工件台系统中使用VxWorks嵌入式操作系统进行任务调度的设计方法.