基于Modelica的光刻机超精密工件台建模与仿真

摘要

采用Modelica语言,建立光刻机超精密工件台仿真模型库,并在Mworks平台上进行联合仿真.仿真结果验证了模型的正确性,表明工件台的定位精度符合光刻机的设计要求.该仿真模型库包括直线电机模型、工件台动力学模型、PID控制器模型、逆变器模型等子模型,还可进行轨迹规划算法的比较分析,为光刻机超精密工件台的设计和改进提供了重要的分析工具和方法.