基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法

摘要

基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法，属于高精度运动控制领域的多板卡之间控制和通信领域，本发明为解决现有多块不同类型板卡与工控机之间实时同步性能差，以及多块板卡之间数据无法交互的问题。本发明应用VME总线模块，将主控CPU板作为VME总线的主设备，其他板卡作为从设备，主设备可通过驱动地址线来选择不同的从设备进行数据交互，然后将工控机通过网口与主控制卡连接，从而实现工控机实时的对各个板卡进行指令传送和数据监控。不同板卡之间的通信则是以主控制卡作为桥梁进行，主控CPU板首先驱动地址线选中需要发送数据的板卡，并将数据读取出来，然后再将此数据发送到另一块需要接收此数据的板卡中。