加速度的最新发展：微机械硅电容加速度计

摘要

本文对用微机械加工技术成的薄膜型硅电容式微加度计的国际最新研究动向进行论述，列举了采用表面微机加工、硅片键合、硅片溶解等微机械加技术和有限元分析法来优化结构，达到超高性能和完善工作、保证成品率以及采用反馈控制技术构成微机电一体化系统来补偿和完善性能的成功例子，例出已达到的性能指标。