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第四届全国微米/纳米技术学术会议
第四届全国微米/纳米技术学术会议
召开年:
2000
召开地:
上海
出版时间:
2000-06-01
主办单位:
上海交通大学
会议文集:
《微米/纳米科学与技术》第5卷第1期
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1.
电磁驱动可调式MEMS光衰减器的光学性能分析
李文军
;
赵小林
;
周光亚
;
张明生
;
蔡炳初
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器.这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减.并对该衰减器的插入损耗和光衰减量进行了分析.
微机电系统;
电磁驱动;
插入损耗;
MEMS;
光学性能;
光衰减器;
2.
MEMS CAD及其模拟软件
黄庆安
;
匡一宁
;
秦明
;
李伟华
;
章彬
;
朱柯
;
鞠瑜华
;
严先蔚
;
张昭勇
;
孟为民
;
张佩君
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文首先讨论了东南大学正在开发的MEMS CAD软件的系统结构和工作流程,然后通过一个器件级模拟的例子对软件的工作进行了说明.
MEMS;
CAD;
模拟软件;
微电子机械系统;
自动绘图构件;
3.
单晶硅各向异性腐蚀模拟中的存储结构和算法
尹宝林
;
韩秋菊
;
康建初
;
王迪
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文研究和实现了一种在单晶硅各向异性腐蚀模拟中基于晶格结构模型的表示方法和存储技术,以及相应的模拟算法.基于这种技术和算法的模拟系统在时间和空间的效率方面都有很大的提高,其所能模拟的晶体尺寸已经达到了微米级,可以初步满足对实际加工工艺模拟的需求.
各向异性腐蚀;
数据结构;
单晶硅;
存储结构;
4.
数字式推进器微型化程度的限制
薛明伦
;
李战华
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文就数字式推进器的气动、传热、强度等问题作出综合分析,由于各因素中的一种—非定常热传导—在微型化过程中的非线性效应会成为主要限制因素,其模型化程度远不是原来估计的那么乐观.
微推进器;
微电子机械系统;
5.
硅微电容式加速度传感器闭环控制系统的研究
吴英
;
温志渝
;
江永清
;
蒋子平
;
胡松
;
陈刚
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文介绍了一种利用MEMS技术中的三维成形腐蚀技术及多掩膜和无掩膜腐蚀工艺研制而成的结构新颖的硅微电容式加速度传感器,并对其结构、工作原理、传递函数、闭环控制系统及相应的测试结果进行了研究和讨论.
硅微电容式传感器;
闭环控制系统;
微电子机械系统;
MEMS;
6.
全方位移动微型机器人实时识别跟踪系统的研究
李振波
;
曹长江
;
肖永利
;
张琛
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
在微型机器人的运动范围内识别机器人精确的位置信息是实现对微型机器人运动控制的基本前提,是比较微型机器人在不同应用环境所规划的行为的需求,是研究机器人的运动在仿真条件和实际环境中差异的基础.微型机器人的微小尺寸使得传感器难以安装在自身上.本文针对微型机器人在微型工厂中应用,应用图像捕捉卡设计了微型机器人实时识别跟踪系统.通过CCD摄像头捕捉微型机器人顶部的特征点的位置,实现对微型机器人位置的实时识别跟踪.
微型机器人;
识别跟踪;
跟踪算法;
7.
一种分析磁微执行器的简单方法
朱珂
;
黄庆安
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文基于磁路定律和等效磁荷观点,介绍了一种分析多层弯曲磁微执行器的一种简单方法,该方法结果与能量法一致.
磁微执行器;
等效磁荷;
8.
半导体材料微米/纳米级体缺陷检测理论与实验研究
尤政
;
李颖鹏
;
陈非凡
;
于世洁
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
通过对近红外激光散射信号探测和信号分布分析,来检测半导体材料体缺陷是一种很有前途的方法.本文简要介绍了检测的基本原理和理论模型,在此基础上提出了判断缺陷尺度的判据,并通过对一组GaAs样品的实验研究,验证了其可行性.
半导体体缺陷;
微米/纳米检测;
散射分布;
9.
一种新型的微型机器人系统
曹长江
;
肖永利
;
李振波
;
张琛
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文介绍了一种新型的微型机器人系统的设计与实现,该机器人系统利用了直径仅2mm的电磁型微马达作为驱动器,制作了一外形尺寸为5mm×6mm的微型机器人小车.利用该φ2mm微马达作为同步电机的特性来实现机器人的快速移动,同时该马达也可作为步进电机来使用,这样就可以满足微型小车实现单步定位的要求.为了实现对小车状态参数的实时采集,该系统利用图象采集系统来实现了机器人视觉.为了把该微型机器人用于微型器件的装配实验研究,系统附设了一精密移动工作台来实现高精度定位,采用了两支压电陶瓷作为执行器来实现工作台X—Y方向的精密移动.
微型机器人;
微电子机械系统;
MEMS;
运行控制;
视觉系统;
10.
微带天线的宽带化、微型化研究进展及微机械天线
潘武
;
钟先信
;
肖沙里
;
巫正中
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文论述了微带天线的宽带化、微型化研究近况,介绍了多种新型宽带、微型化天线,涉及微机械、附加阻抗、馈电网络改进、附加寄生单元、短路壁或短路针、辐射单元直接刻蚀缝隙等技术.微机械天线是天线的发展方向之一.
微机械天线;
微带天线;
宽带;
11.
MIMU总体技术研究
尤政
;
任大海
;
陈非凡
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
微型惯性测量组合(Micro Inertial Measurement Unit,MIMU)是国际上近年来发展起来的高新技术,本文通过对国内外微加速度计,微陀螺仪的测试分析,建立微型惯性测量组合(MIMU),对微加速度计,微陀螺仪的技术攻关与MIMU的综合集成提供经验,并积极开展MIMU应用研究.
微型惯性测量组合;
测试分析;
MIMU;
12.
硅压阻式压力传感器的研制及性能测试
蒋庄德
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器,进一步研制小体积高精度的传感器扩大应用范围已是事在必行.本文主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果.
微压力传感器;
掩膜版;
性能测试;
13.
用于无线通信的微机械电感研究
丁勇
;
刘泽文
;
刘理天
;
李志坚
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文给出了利用MEMS方法制作微型电感的初步研究结果.在分析了影响平面螺旋线圈电感值的主要因素,计算了几种不同几何参数下平面螺旋线圈的电感值后,给出了一种新型的微机械平面电感设计方案.
电感;
微机械电感;
平面螺旋线圈;
微电子机械系统;
MEMS;
14.
电容检测型微差压传感器
韩明
;
王跃林
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
在市场上,对于大于1psi压力测量的器件较多,当然市场也较大.对于微压的测量,一般微压检测器件的下限为600Pa.可检测600Pa以下微差压器件几乎没有(国内没有生产).本文主要介绍一种新型的电容检测型微差伺服传感器芯片.内容包括其结构和工艺实现,并对完成的差压传感器进行了检测,检测结构表明该器件对小于100Pa的差压敏感,并有较好的灵敏度.不仅可用于净化车间的气压监控,还可广泛用于类似气体管道中的表压、真空压的检测.
微压差传感器;
电容检测;
压力测量;
15.
微机械热对流加速度计研究
杨拥军
;
魏同立
;
李立杰
;
赵彤
;
赵彦军
;
梁春广
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
微机械热对流加速度计不需检验质量块,结构简单,制作工艺与IC工艺兼容,可批量制备,体积小,量程大,耐冲击.文章介绍了微机械热对流加速度计的工作原理、结构设计,制作工艺和取得的结果.测试表明:所研制的微机械热对流加速度计灵敏度为0.1v/g,分辨率可达1mg,量程>75g,工作带宽50Hz.通过改进设计和进行频率补偿,加速度计带宽可达1KHz.两轴微机械热对流加速度计已经设计出来,目前正在进行工艺制备.
加速度计;
正面体加工;
微机械热对流加速度计;
16.
模数0.03的微行星齿轮减速器的研究
陈文元
;
张卫平
;
范志荣
;
徐正福
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
微减速器与微马达相配,可以提高微马达的输出力矩,拓展微马达的应用场合.本文介绍了用LiGA技术制造模数0.03微齿轮,并用显微装配技术集成直径2mm、减速比44.2的微行星齿轮减速器,并与直径2mm电磁型微马达组成微驱动器.
微减速器;
微电子机械系统;
微马达;
掩模板;
微齿轮;
17.
微型电磁电机及相关工艺技术研究
梁静秋
;
姚劲松
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
提出一种低速大力矩微型电磁电机.在旋转电磁力作用下,电机锥形转子在定子内锥面上作纯滚动,通过联轴器将其旋转运动耦合输出.这种电机是采用精密机械的精细加工技术制作的.与此同时,对与微电机有关的三维微细加工技术进行了研究.
电磁电机;
三维微细加工;
微电机;
18.
小型蝶式封装光纤陀螺光源的研究
王品红
;
杨璠
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
小型蝶式封装超辐射发光二极管组件是光纤陀螺的重要光源.本文简述了光纤陀螺系统对光源的基本性能要求,介绍了光源的结构和封装工艺设计,研制成功了光源组件,满足了系统实用要求.
光纤陀螺;
封装设计;
光源组件;
19.
高长径比微孔列阵及其应用
端木庆铎
;
李野
;
卢耀华
;
姜德龙
;
富丽晨
;
田景全
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
文中介绍了高长径比微孔列阵的形成工艺,给出了实验结果,指出了通道内壁存在纵向条带式不均匀分布问题,最后介绍了微孔列阵在MCP中的重要应用.
微孔列阵;
微通道板;
刻蚀系统;
20.
高灵敏度电子隧道加速度计研究
李立杰
;
杨拥军
;
梁春广
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
基于隧道效应的高灵敏度加速度计,在MEMS领域中具有其他加速度计不可比拟的特点和优点;本文讲述了电子隧道传感器的工作原理.目前我们作出的隧道传感器的分辨率可达10<'-3>□/(Hz)/2.介绍了隧道效应的加速度计的设计和器件制作的工艺流程.实验分析了反应离子刻蚀(RIE)和EPW湿法腐蚀制作的隧道硅尖;对硅-玻璃静电键合工艺进行了研究.制作出了隧道加速度计样品.
电子隧道传感器;
加速度计;
微电子机械系统;
21.
硅基铁电薄膜的性能研究
任天令
;
张林涛
;
刘理天
;
李志坚
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
以Sol-Gel方法制备了硅基PZT铁电薄膜,底电极分别为低阻硅和硅衬底上溅射的金属铂、钛.测试了铁电薄膜的介电、铁电性能,比较了两种衬底电极对铁电薄膜性能的影响及各自的优势.
铁电薄膜;
衬底电极;
频率响应;
22.
巨磁电阻材料及其在微机械真空传感器的应用探讨
李铁
;
熊斌
;
王跃林
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文介绍了新型高灵敏度磁敏感材料-巨磁电阻材料,指出巨磁电阻材料具有灵敏度高、制作工艺简单、尺寸小、抗辐照等优点,采用合适过渡层后可获得更高的灵敏度.在此基础上,文章分析了巨磁电阻磁敏器件的工作原理,并对巨磁电阻磁传感器在微机械真空传感器方面的应用进行了讨论.
巨磁电阻材料;
磁敏器件;
微机械真空传感器;
23.
有序金属纳米线阵列的AFM研究
姚建林
;
汤儆
;
潘谷平
;
薛宽宏
;
任斌
;
毛秉伟
;
田中群
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
电化学样模合成法是制备有序金属纳米线阵列的重要方法.本工作采用电化学及非电沉积的方法在氧化铝模板中沉积了各种不同的金属,利用酸或碱溶解除除氧化铝后得到各种金属的纳米线.采用原子力显微镜观察逐步溶解样模过程中纳米线阵列表面形貌的变化规律.
纳米线;
原子力显微镜;
模板合成;
纳米线阵列;
AFM;
24.
巴基葱的微观形态与电学特性研究
刘虹雯
;
刘赛锦
;
张琦锋
;
侯士敏
;
刘惟敏
;
薛增泉
;
吴锦雷
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文介绍了巴基葱的一种制备方法,在大气室温下用扫描探针显微镜(SPM)观测了巴基葱在高定向石墨表面的微观形态,发现巴基葱为“葫芦”形的聚合体;它们的轴向呈现较严格的一致,存在成串排列的巴基葱聚合体.本文探讨了这些现象产生的原因,并测定了巴基葱在金表面的电学特性,它表现为半导体特性.
巴基葱;
SPM;
电学特性;
扫描探针显微器;
25.
阳极氧化铝膜的制备和磁性纳米阵列
赵冰
;
翟亚
;
张宇
;
陆祖宏
;
顾宁
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
电化学阳极氧化法制备氧化铝纳米结构,可以得到具有不同参数的密集排列的六角形结构膜,其中的纳米孔道具有高纵横比.以阳极氧化铝膜为模板,在其中沉积磁性纳米颗粒,可以得到磁性纳米阵列,它具备高的垂直磁化特性.我们制备了阳极氧化铝膜,而后得到了Fe纳米阵列,从磁滞回线讨论了它的垂直磁化特性.
纳米阵列;
磁性材料;
阳极氧化铝膜;
26.
单分散纳米银粒子制备及其自组织二维有序阵列
何声太
;
江鹏
;
姚建年
;
张昊旭
;
解思深
;
庞世瑾
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文用二相液-液系统方法合成出颗粒直径为6.9±0.1nm的银纳米溶胶,UV-Vis光谱研究表明该相为稳定的、粒径分布范围小的单分散系统.并且,通过自组织方法获得了二维有序的银纳米粒子阵列.
纳米银粒子;
二维有序;
单分散系统;
27.
光催化用TiO<,2>纳米材料的制备及表面态研究
阮圣平
;
徐宝琨
;
吴凤清
;
张彤
;
高伟
;
张景超
;
赵慕愚
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
采用硬脂酸凝胶法制备了TiO<,2>纳米材料,用差热—热重分析、红外光谱分析、X光衍射分析、透射电镜、表面光电压谱和X光光电子能谱等手段对TiO<,2>制备过程及产物的晶型、形貌、结构、表面光电特性等进行了分析,并结合实验的结果,讨论了材料表面状态对其光催化性能的影响.
二氧化钛;
纳米材料;
表面态;
28.
一种微型直升机的设计与研制
肖永利
;
曹长江
;
李振波
;
杨红红
;
张琛
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
本文介绍了一种微型直升机的设计与研制过程.该直升机主要由两个直径仅两毫米的电磁型微马达组成,考虑到目前微细加工和微精密装配技术的条件限制以及微马达的驱动能力,该微型直升机的整体结构设计比较简单,两个微马达由两片高强度的合金薄片固定,从而巧妙地将微马达作为机身的一个组成部分,两片金属薄片之间采用桁架固定以提高机身的强度,两个微马达分别驱动两个相同的微型旋翼可产生升力以使微型直升机离地起飞.目前,该微型直升机可进行初步离地飞行表演,飞行高度可达50mm,悬停时间可持续10秒左右.
微型直升机;
微马达;
微型旋翼;
29.
微硅加速度吉WGA-1
马晓华
;
郝跃
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
本文主要论述了一种新型的双梁摆式微型硅加速度计的工作原理,并对研制这种加速度计的关键工艺进行了探讨研究,同时对研制出的加速度计进行测试分析.
电容传感器;
静电力平衡;
静电键合;
硅加速度计;
30.
光调制热成像器件的研制
张流强
;
杨根庆
;
解健芳
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
光调制热成像器件是一种基于双材料悬臂梁热效应和光学干涉信号读取系统的新型微机械器件.通过采用硅牺牲层微机械加工技术及CO<,2>超临界干燥技术,器件的研制获得了成功.微机械结构全部悬空并具有高度均匀性,其残余应力可在以后的器件制备中通过应力补偿来消除.
光调制热成像器件;
LMTID;
微机械阵列器件;
31.
电磁微马达驱动微泵
章吉良
;
杨春生
;
赵小林
;
张卫平
;
蔡炳初
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中,均需要流量的精细控制和检测系统.在这类流量精细控制和检测系统中,微小型泵是一个基本元件.作者利用上海交通大学研制成功的直径为2mm的电磁型微马达作驱动源,并配以电火花加工工艺制备的蜗壳和Ti合金叶轮制成旋转式微泵.微泵的外形尺寸为φ4.5×6.5mm,最大流量可达12ml/min,流量可根据马达转速进行调节.
电磁型微马达;
旋转式微泵;
流量精细控制;
参数估算;
32.
外加电压对用STM进行钛膜氧化结果的影响
黄萍
;
沈波
;
蒋建飞
;
蔡琪玉
;
程子川
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
我们研究了扫描隧道显微镜(STM)在不同氧化电压下对钛膜氧化结果的影响,并对实验结果作了分析,通过测试证实了不完全氧化钛膜中存在隧道结结构.
扫描隧道显微镜;
隧道结;
STM;
钛膜;
氧化电压;
33.
扫描隧道显微镜在Si表面纳米结构加工的研究
程子川
;
蒋建飞
;
蔡琪玉
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
|
2000年
摘要:
本文论述了利用扫描隧道显微镜(STM)的阳极氧化原理,在Si表面加工形成氧化线的过程,讨论了氧化电压,扫描频率和环境湿度对氧化的影响,并且对加工纳米结构器件作发初步探讨.
扫描隧道显微镜;
阳极氧化;
STM;
纳米结构器件;
扫描频率;
34.
纳米硅薄膜场发射效应的传感技术应用进展
林鸿溢
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
通过对场发射压力传感器各种结构形式和研究进展的综合和比较,阐明了半导体场致电子发射效应的高技术应用途径;传感技术中纳米硅薄膜的引入,在理论和实践上都有着重要的意义.
场发射;
压力传感器;
纳米硅薄膜;
电子发射效应;
35.
纳米硅薄膜场发射压力传感器的研究
郭英姿
;
廖波
;
刘金华
;
林鸿溢
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
场发射压力传感器是高真空技术与微电子技术相结合的一种耐高低温、抗辐射的小型高灵敏度新型器件,具有重要的研究价值.本文从具有相当难度的提高阴极发射电流密度和简化工艺两方面着手,设计了一种新型纳米硅薄膜场发射压力传感器,讨论了提高灵敏度的途径,结构设计思想,工艺参数,以及工艺可实施的一套具体流程方案,为传感器件的最终实现提供了可操作的保证.
纳米硅薄膜;
场发射压力传感器;
结构设计;
36.
Ba(Zn<,1-x>Co<,x>)<,2>Fe<,16>O<,27>纳米复合材料微波吸收性能的研究
阮圣平
;
徐宝琨
;
张彤
;
吴凤清
;
王兢
;
张景超
;
赵慕愚
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
采用柠檬酸盐法合成了Ba(Zn<,1-x>Co<,x>)<,2>Fe<,16>O<,27>复合氧化物纳米材料,将其与传统的微波吸收剂铁粉分别均匀地分散于有机高分子黏合剂中,涂在铁板上,制成双层复合的吸波涂层,进行测试,得到性能良好的微波吸收材料.在总结实验事实的基础上,对纳米复合材料的吸波机理进行了探讨.
微波吸收;
复合材料;
纳米材料;
柠檬酸盐法;
37.
纳米硅薄膜的最新进展及其应用前景
何宇亮
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
论述了纳米硅薄膜的物性:量子输运特征及量子点特征.并简述了纳米硅薄膜在几个方面的应用前景.
纳米硅薄膜;
薄膜沉积;
量子输运特征;
38.
掺磷纳米硅薄膜的电导特性
刘明
;
王子欧
;
何宇亮
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
用等离子增强化学汽相淀积(PECVD)法实现了纳米硅(nc-Si:H)薄膜的磷掺杂.磷掺杂样品的电导在10<'-1>-10<'1>Ω<-1>cm<'-1>之间,比本征纳米硅样品提高两个数量级.同时改变掺磷浓度可以控制电导的改变.一组掺杂纳米硅样品电导的温度曲线表明:存在于非晶硅中的温度拐点消失,电导激活能进一步下降.结合磷掺杂纳术硅薄膜的结构,用异质结量子点模型对磷掺杂nc-Si:H薄膜的传导机制进行了解释.
异质结量子点模型;
纳米硅薄膜;
磷掺杂;
39.
低碳含量a-SiC<,x>:H薄膜的化学键结构
王燕
;
岳瑞峰
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
本文采用Raman测量研究了低碳含量a-SiC<,x>:H(~<20at.℅)薄膜的结构特征,两种不同激光波长被用来激发这些材料.采用647.1nm激发中,由于能量接近于各样品的光学带隙,因而具有较大的透射深度,而488nm激发则被样品表面强列吸收.探测深度的变化造成了Raman谱较大的差异,这些结果表明样品的自由表面存在一层高浓度的缺陷层,同时也证明样品体内硅团簇结构的存在.这两种空间的不均性造成了高能激发时Raman谱的TO模频率和半高宽比低能激发时有大的红移和展宽,以上结果表明不同激发波长将造成Raman测量结果的差异.
a-SiC,x;
H薄膜;
Raman测量;
探测深度;
40.
非晶硅氮薄膜的室温光致发光
王燕
;
岳瑞峰
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》
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2000年
摘要:
本文研究了a-SiN<,x>:H薄膜中不同氮含量样品的室温光致发光.结果表明,当x≥0.5时,在室温下观察到了较强的室温荧光,随氮含量增加,发光峰能量与强度不断增加,并且在富硅(x≤1.3)样品中存在两种荧光机制.当x≤0.8时,样品表现为与a-Si:H类似的荧光特性及温度特性.当x>0.8时,荧光强度和峰位均有大的增加,归一化后的低温和室温的荧光谱几乎完全重合.采用量子限制模型并结合渗流理论解释了实验现象.
量子限制;
非晶硅氮薄膜;
室温荧光;
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