太阳能级多晶硅用三氯氢硅中金属杂质的检测方法

摘要

在洁净室里,采用在氩气保护下进行高纯三氯氢硅的挥发,然后用高纯酸溶解,用高分辨电感耦合等离子体质谱仪检测痕量金属杂质,方法的检出限为0.45~14.6 ng/kg,加标法回收率为89.6%~108.2%.前处理简单、快速,避免了在样品前处理时的污染问题,检测结果准确可靠.