半导体器件热测试

摘要

简要介绍了最常用的三种测温方法的原理及步骤:电学热敏参数法、红外扫描热象法和液晶法。讨论了测试经常遇到的问题,如根据不同需要选择适当的测温方法、不同类型的管子选用不同的电学参数、峰值结温的获得、环境因素的控制等。简单阐述了影响测温精度的因素及解决措施,还比较了各种方法的优缺点。