CVD金刚石薄膜热导率的研究

摘要

研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒尺寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺陷对金刚石膜的热导率的影响。结果表明 ,随着晶粒尺寸的增大 ,金刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大 ;随着膜的增厚 ,热导率先大幅度提高 ,达到一定值后 ,变化率变小 ;晶粒 (111)取向对金刚石膜的热导率最有利 ,其次是 (110 ) ;非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率 。