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MPCVD金刚石薄膜形核率研究

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本文对ＭＰＣＶＤ金刚石薄膜的成核过程进行了研究，详细描述了金刚石晶粒成核的微观过程。

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来源
《首都师范大学学报：自然科学版》 |1999年第3期|27-30|共4页
作者
胡颖; 冯长根;
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作者单位

首都师范大学物理系;

北京理工大学机电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
金刚石薄膜; MPCVD; 微观过程; 成核密度;

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