热灯丝CVD外延生长有序金刚石薄膜

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• 来源
  《电子材料快报》 |1996年第8期|13-14|共2页
• 作者

  未休;

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• 作者单位

  无;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 TN304.18;
• 关键词

  金刚石薄膜; 外延生长; CVD法;