玻璃基板搬运机器人的设计

摘要

讨论了FPD产业中玻璃基板搬运机器人的常用构型,确定了圆柱坐标型玻璃基板搬运机器人的设计方案.结合玻璃基板搬运机器人的设计过程和构型特点,着重介绍了玻璃基板搬运机器人R向伸缩模块、θ向旋转模块和Z向升降模块的功能及实现各模块功能的机械结构和运动机理,并以R向伸缩模块为例,从转矩匹配和转动惯量匹配两个方面校核了电机与负载的匹配性能.验证结果表明,玻璃基板搬运机器人所选电机与负栽的匹配性能良好,且R向伸缩模块的转动惯量具有周期性变化的规律.