基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法

摘要

本发明提供一种在不使机器人大型化时也能接近位于更远位置的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板搬运方法。该基板搬运机器人（13）包括手部（131）、使手部（131）移动的臂（132）和控制手部（131）的移动的控制部（133）。控制部（133）控制手部（131）的位置和朝向，使得在俯视时基板保持中心（138）位于盒（30）的附近且位于与盒（30）分隔规定的间隔的接近起始位置（141）上，在该状态下，手中心线（139）相对于接近直线（304）倾斜，且在手中心线（139）与接近直线（304）一致的状态下，基板保持中心（138）到达盒（30）内的基板载置位置（142）。