大型ガラス基板搬送ロボット

摘要

当社では10数年LCD産業に注目し、年々大型化するガラス基板に対応したガラス基板ハンドリングロボットを提供している（図1）。 現在では液晶用ガラスは8世代まで拡大し、さらに9世代、10世代の大型基板の検討も始まっている。 LCDの製造は、クリーンルームで行われ、使用される機器は高クリーン度が必要で、発塵を抑えた構造が必要がある。 LCD製造プロセスでは、ガラス基板は1枚ずつ処理されるため、ガラス基板の搬送にロボットが使われ、一つの工場で数百台のロボットを使用する。本稿ではこの大型ガラス基板搬送ロボットに関して紹介を行う。