FPD玻璃基板搬运机器人研究

摘要

本文综述玻璃基板搬运机器人的发展历史，分析玻璃基板搬运机器人的典型结构。介绍玻璃基板搬运机器人的研究成果，探讨玻璃基板搬运机器人的研究方法。