大形ガラス基板搬送用クリーンロボット

摘要

クリーンロボットを1997年に市場投入し，半導体·液晶·PDP分野の製造ラインに適用を進めてきた。 この間，クリーンロボットの性能·機能·信頼性の向上を図り，市場の厳しい要求にこたえてきたが，近年液晶分野における市場動向は，基板サイズの大形化と中形基板サイズでの生産性向上とに二極化している。 本稿では，これらの顧客要求にこたえる新開発の大形クリーンロボットの主な概要と特長を説明している。