高精度微光学器件激光直写光刻系统研究

摘要

设计一套高精度激光直写光刻系统,它采用带 17位增量式编码器的松下MINAS A系列交流伺服马达,同时还采用基于高精密滚珠丝杆和超精密线性滑轨导向的x-y运动平台,可以实现约30 nm的运动控制灵敏度.针对该系统开发一套基于ISA总线的三维运动控制卡.实验表明该激光直写光刻系统完全能够满足光刻精度的要求,并且具有控制简单、行程轨迹精确等特点,适用于许多微光学器件加工领域.