激光直写中光刻胶对激光能量的吸收模型

摘要

光刻胶对激光能量的吸收模型是激光直写中的重要模型，它是进行邻近效应计算机模拟而实现邻近校正不可缺少的重要依据。分析了影响激光束能量被光刻胶所吸收的主要因素，提出了一种光刻胶对激光能量的吸收模型。实验表明，模型能更精确地表示光刻胶吸收的激光能量密度分布的实际情况，能为激光直写邻近校正及微光学元件等光刻过程的计算机模拟提供可靠的依据。