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基于PLC控制的YAMAHA机器人手臂晶圆去边工艺研究

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摘要

阐述了晶圆材料的相关发展,介绍了机器人手臂模拟人手的具体流程和详细功能,分析了设备整体的硬件架构和软件设计,并对匀胶工艺进行了探究.设备投产后显著降低了失误率,提高了生产效率,减少了人工成本,得到客户的一致好评.

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来源
《机械管理开发》 |2020年第11期|216-218|共3页
作者
白雁兵; 王宁;
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作者单位

中电科风华信息装备股份有限公司山西太原030024;

中电科风华信息装备股份有限公司山西太原030024;

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正文语种 chi
中图分类机器人;
关键词
晶圆; 光刻胶; 自动控制; 匀胶工艺;

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