基于PLC控制的晶片盒中晶圆位置状态检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于PLC控制的晶片盒中晶圆位置状态检测装置，上位机连接PLC，向PLC发送控制命令并接收PLC的反馈信息；PLC通过伺服驱动器连接伺服电机的输入端，发送脉冲输出控制信号到伺服电机，对伺服电机进行控制，伺服电机的输出端通过脉冲编码器连接PLC，通过脉冲编码器向PLC发送反馈信息；伺服电机通过丝杠连接激光传感器，控制激光传感器运动，激光传感器连接PLC，检测晶圆位置信息。本发明的扫描过程中，片盒不动，激光传感器进行一次往返运动，就可计算出片盒中晶圆位置状态；检测方法简单，检测过程稳定可靠。