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A piezoelectric unimorph deformable mirror fabricated by wafer transfer technology

机译：一种采用晶圆传输技术制造的压电单晶片可变形镜

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作者
Yang, E. H.;
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年度 2003
页码 1-1
总页数 1
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
ADAPTIVE OPTICS; DEFORMABLE MIRRORS; FABRICATION; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; PIEZOELECTRICITY; WAFERS; MEMS NEMS space NASA JPL adaptive optics piezoelectric film;

机译：自适应光学;可变形镜;制造;微电子机械系统;压电; WaFERs; mEms NEms空间Nasa JpL自适应光学压电薄膜;

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