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基于SLM的三维图像激光光刻系统的研制

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摘要

文中提出采用空间光调制器进行子图输入、用激光干涉成像光学头产生干涉条纹的方法来实现3D图像或光学可变图像的制作,研制了大幅面3D图像激光光刻系统,光变图像分辨率可达5080dpi,平均运行效率达8000dots/s(1270pdpi)以上.给出了实验结果.

著录项

来源
《激光与红外》|2003年第5期|367-370|共4页
作者
陈林森; 解剑锋; 沈雁; 汪振华; 陆志伟;
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作者单位

苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类全息光学;
关键词
3D图像; 干涉; 光学头; 空间光调制器;

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