首页> 外文OA文献 >Laser-induced Plasma X-ray Source and Its Applications. Development of Laser-plasma Soft X-ray Source for Projection Lithography.

【2h】

Laser-induced Plasma X-ray Source and Its Applications. Development of Laser-plasma Soft X-ray Source for Projection Lithography.

机译：激光诱导等离子体X射线源及其应用。投影光刻激光等离子软X射线源的研制。

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Yasuhiko NISHIMURA; Atsushi SAKATA; Hirozumi AZUMA;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 1999
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Development of laser-plasma soft X-ray source for projection lithography [J] . Y.Nishimura, A.Sakata 表面科学 . 1999,第3期

机译：投影光刻用激光等离子软X射线源的研制
2. Development of laser-plasma soft X-ray source for projection lithography [J] . Y.Nishimura, A.Sakata 表面科学 . 1999,第3期

机译：投影光刻用激光等离子软X射线源的研制
3. Development of laser-plasma soft X-ray source for projection lithography [J] . Y.Nishimura, A.Sakata 表面科学 . 1999,第3期

机译：激光等离子体软X射线源的研制投影光刻
4. A laser-plasma clean soft X-ray source for projection microlithography [C] . S. Bollanti, P. Di Lazzaro, F. Flora, Gas flow, chemical lasers, and high-power lasers . 2009

机译：用于投影微光刻的激光等离子清洁软X射线源
5. Mitigation of Hot Electrons from Laser-Plasma Instabilities in Laser-Generated X-Ray Sources. [D] . Fein, Jeffrey R. 2017

机译：缓解激光产生的X射线源中激光等离子不稳定性带来的热电子。
6. Single-Shot near Edge X-ray Fine Structure (NEXAFS) Spectroscopy Using a Laboratory Laser-Plasma Light Source [O] . Przemysław Wachulak, Martin Duda, Tomasz Fok, 2018

机译：使用实验室激光等离子光源的单次发射近边缘X射线精细结构（NEXAFS）光谱
7. Laser-induced Plasma X-ray Source and Its Applications. Soft X-ray Imaging Microscope with a Laser Produced Plasma Source. [O] . Hidekazu TAKANO, Sadao AOKI 1999

机译：激光诱导等离子体X射线源及其应用。软X射线成像显微镜，具有激光产生的等离子体源。
8. Advanced Source Development and Applications. Laser-Produced Plasmas: A Compact Soft X-Ray Source with High Peak Brightness. [R] . Byer, R. L. 1989

机译：高级源开发和应用。激光产生的等离子体：具有高峰值亮度的紧凑型软X射线源。

Laser-induced Plasma X-ray Source and Its Applications. Development of Laser-plasma Soft X-ray Source for Projection Lithography.

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅