基于数字微镜的无掩模数字光刻系统的研制

摘要

研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统。利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作。该文从照明系统、数字微镜芯片、精缩物镜设计等方面进行了系统总体设计。利用该系统成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和8台阶菲涅耳透镜,进一步论证了该系统的可行性。