Stanford University.;
机译:基于数字微镜装置的扫描掩模光刻系统的高速曝光方法
机译:基于数字微镜器件(DMD)和双面微透镜和空间滤波器阵列的无掩模光刻
机译:使用基于数字微镜设备的无掩模光刻系统制造无源微混合器
机译:使用无掩模光学光刻技术和数字微镜器件制造双波长衍射分束器
机译:无掩模光刻微镜的动力学,控制和制造。
机译:基于一步法无掩模灰度光刻的具有任意表面轮廓的微光学元件的制备
机译:基于聚合物基微光学结构的多功能和低成本制造的无掩模光刻
机译:基于准光学maser Undulator的光刻X射线源