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张思琪; 周思翰; 杨卓俊; 许智; 兰长勇; 李春;
电子科技大学光电科学与工程学院,四川成都011699;
中国科学院物理研究所松山湖材料实验室,广东东莞523429;
无掩膜光刻; 空间光调制器; 数字微镜器件; 分辨率增强; 灰度光刻; 微立体光刻;
机译:基于数字微镜器件(DMD)和双面微透镜和空间滤波器阵列的无掩模光刻
机译:无掩膜激光光刻技术,用于在ITE中快速进行微技术和纳米技术的设备原型
机译:使用基于数字微镜设备的无掩模光刻系统制造无源微混合器
机译:使用无掩模光学光刻技术和数字微镜器件制造双波长衍射分束器
机译:基于微镜阵列的高分辨率光学无掩模光刻。
机译:M3:基于显微镜的无掩模微图案具有干膜光刻胶
机译:数字微镜器件通过紫外激光成形无掩模显微光刻
机译:基于数字微镜器件的动态红外场景投影仪
机译:极紫外掩膜毛坯,使用极紫外掩膜毛坯,光刻技术,使用光掩膜制造的方法,以及使用光电掩膜的半导体器件的制造方法
机译:基于数字微镜器件组合的光纤器件数字光刻法
机译:基于数字微镜器件组合的光纤器件数字光刻方法
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