ＫｒＦ准分子激光缩小投影光刻实验系统研制

摘要

深紫外ＫｒＦ准分子激光光刻技术对于提高光刻分辨率，发展光启程技术极限，具有重要的意义。微细加工光学技术国家重点实验室研制了一套ＫｒＦ准分子激光缩小投影光刻实验系统。这套实验系统的研制成功为开展准分子激光光刻技术和准分子激光与相移掩模相结合的光刻技术的研究创造了条件，对研制的这套实验系系统的进行介绍。