一种用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器

摘要

本发明涉及一种用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，属于激光器领域。包括泵浦源、耦合聚焦系统、激光谐振腔、翠绿宝石晶体、双折射滤光片、二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体；激光谐振腔为线性腔或折叠腔或环形腔。单频744nm基频激光经过二倍频非线性晶体将744nm基频光转换成372nm倍频光，剩余的744nm基频光与372nm倍频光经过三倍频非线性晶体进行和频，得到248nm单频深紫外激光。本发明利用可见光激光器作为翠绿宝石激光晶体的泵浦源来实现可用于KrF准分子激光器的248nm单频全固态翠绿宝石激光器，效率较高，且全固态泵浦时所需翠绿宝石晶体的尺寸较小，能够降低激光器造价，更有利于获得高效率、高光束质量的深紫外248nm激光输出。