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多孔硅的电化学形成及微结构研究

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摘要

采用自制的电解池用电化学腐蚀方法制备多孔硅,使用正交试验法设计阳极腐蚀参数.使用原子力显微镜研究多孔硅的微结构,分析并讨论了实验参数对多孔硅微结构的影响,确定了最佳制备工艺.

著录项

来源
《燕山大学学报》 |2006年第2期|177-180|共4页
作者
张乐欣; 李志全; 李葵英;
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作者单位

燕山大学,材料科学与工程学院,河北,秦皇岛,066004;

燕山大学,电气工程学院,河北,秦皇岛,066004;

燕山大学,材料科学与工程学院,河北,秦皇岛,066004;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.1+2;
关键词
多孔硅; 微结构; 原子力显微镜;

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