用于电化学法制备多孔硅的双槽装置及制备多孔硅的方法

摘要

针对现有制备SOI硅片上多孔硅上的不足，本发明提供一种用于电化学法制备多孔硅的双槽装置及制备多孔硅的方法。本发明的双槽装置包括外槽体、内槽体、下层垫圈、上层垫圈、槽体螺栓、螺母、垫圈螺栓；本发明的制备方法包括备片、硅片安置、装置安装、电化学腐蚀四步。有益的实际效果：本发明可以专用于SOI硅片上多孔硅的制备，也可以实现普通硅片上多孔硅的制备，并且多孔硅制备的形状可控。