HF浓度对电化学法制备多孔硅结构的影响

摘要

本文介绍了采用电化学制备多孔硅技术，在固定光强、温度、电流等实验条件下，通过改变电解液中HF酸浓度，测量对比了相应多孔硅的特性，找出HF浓度对电化学法制备多孔硅结构的影响。