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摘要
第一章 绪论
1.1 硅多孔微结构研究背景
1.2 硅多孔微结构制备方法
1.3 硅多孔微结构的应用
1.4 本文主要研究内容及意义
第二章 金属粒子催化腐蚀法制备硅多孔微结构工艺原理
2.1 硅基微结构酸性腐蚀原理
2.2 金属粒子催化腐蚀法原理
2.3 硅多孔微结构孔洞形成原理
第三章 银粒子催化腐蚀硅多孔微结构实验研究
3.1 实验研究概述
3.2 实验试剂及设备介绍
3.3 两步腐蚀法制备硅多孔微结构实验研究
3.4 本章小结
第四章 银粒子催化腐蚀硅多孔微结构实验结果分析及讨论
4.1 银粒子对硅多孔微结构形貌的影响
4.2 反应时间对硅多孔微结构形貌的影响
4.3 氧化剂浓度对硅多孔微结构形貌的影响
4.4 本章小结
结论
致谢
参考文献