RF-MBE生长的高Al势垒层AlGaN/GaN HEMT结构(英文)

摘要

采用RFMBE技术,在蓝宝石衬底上生长了高Al组分势垒层AlGaN/GaNHEMT结构.用三晶X射线衍射分析得到AlGaN势垒层的Al组分约为43%,异质结构晶体质量较高,界面比较光滑.变温霍尔测量显示此结构具有良好的电学性能,室温时电子迁移率和电子浓度分别高达1246cm2/(V·s)和1.429×1013cm-2,二者的乘积为1.8×1016V-1·s-1.用此材料研制的器件,直流特性得到了提高,最大漏极输出电流为1.0A/mm,非本征跨导为218mS/mm.结果表明,提高AlGaN势垒层Al的组分有助于提高AlGaN/GaNHEMT结构材料的电学性能和器件性能.