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王丰; 吕平临; 李敬文;
黑龙江商学院电子工程系,黑龙江哈尔滨,150076;
黑龙江计算机总公司,黑龙江哈尔滨,150001;
黑龙江省计划生育信息中心,黑龙江哈尔滨,150001;
硅各向异性腐蚀; 硅杯结构; 推广应用;
机译:氢氟酸腐蚀剂-硅系统的各向异性对电化学腐蚀硅时形成的孔的形状的影响
机译:硅各向异性湿化学腐蚀过程中,腐蚀的(靠近)Si {111}表面之间的角度和衬底取向对底蚀速率的影响
机译:机械搅拌和添加剂对基于TMAH溶液的硅各向异性腐蚀的影响
机译:通过在{100}取向的硅上进行无掩模湿法各向异性腐蚀{hkl}结构进行微加工
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:具有良好晶体学织构的Mg-3Al-1Zn(wt。%)轧制合金的高耐腐蚀性和弱腐蚀各向异性
机译:基双脉冲局部硅腐蚀作为后侧潜在诱导降解的根本原因的局部硅腐蚀
机译:硅 - 硅双键的电子结构。 Tetramesityldisilene中的硅-29屏蔽各向异性
机译:硅各向异性腐蚀剂及各向异性腐蚀方式
机译:基于氟的等离子腐蚀高空硅结构各向异性腐蚀方法
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