Institute of chemistry, technology and metallurgy, Center for microelectronic technology and single crystals, NjegoÃu0085¡eva 12, 11000 Belgrade, Serbia;
机译:无掩膜各向异性湿法刻蚀同时形成块状微加工共振加速度计的非共面共振梁和支撑梁
机译:各向异性湿法刻蚀结合苯并环丁烯聚合物和硅微机械结构
机译:湿法各向异性蚀刻工艺中的硅(100)底切建模和拐角补偿结构设计
机译:通过无掩模湿的各向异性蚀刻{HKL}面向{100}定向硅的微机器
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:苯并环丁烯聚合物与各向异性湿法刻蚀制备的硅微机械结构的集成