用依赖晶体取向的各向异性蚀刻在硅片上进行薄膜体声谐振器的制作

摘要

在基底上形成的薄膜体声谐振器包括压电材料层，它具有夹在第一导电和第二导电层间的第一主表面和第二主表面。在其上形成薄膜体声谐振器的基底中有一个开口，该开口露出薄膜体声谐振器的第一导电层。开口基本上是平行四边形形状，具有第一对平行边和第二对平行边。第一对平行边之一与第二对平行边之一构成不是90度的角。