机译:使用基于Au / n-ZnO /压电-ZnO / Al结构的薄膜压电谐振器进行UV感测
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机译:基于MG_XZN_(1-X)O基的UV传感性能的镁组成效果 - 基于UV传感的块状声学谐振器
机译:基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度传感元件
机译:基于MEMS的系统,用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
机译:CMOS集成膜体声谐振器用于无标签生物传感
机译:使用基于Au / N-ZnO /压电 - ZnO / Al结构的胶片堆积声谐振器的UV感测
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)