退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
李昕欣; 杨恒; 沈绍群; 鲍敏杭;
复旦大学电子工程系传感器研究室;
硅; 微机械结构; 掩膜-无掩膜; 腐蚀工艺; 微电子;
机译:通过掩模的无掩模硅蚀刻形成的{100}复合梁结构
机译:多晶硅支撑和LPCVD Si sub(3)N sub(4)嵌入式掩模在表面微加工中释放微机械结构的新工艺
机译:无掩模湿法刻蚀形成的硅基光子纳米结构的几何形状及其对光学性能的影响
机译:通过无掩模-无掩模湿法各向异性蚀刻进行微加工,以实现{100}取向硅中的多层结构
机译:纳米结构作为掺杂剂来源:使用形状和尺寸控制的纳米材料硅的无掩模纳米级图案化
机译:紧凑的低成本低维护的开放式结构掩模对准器用于制造多层微流控器件
机译:使用图案化微放电对硅进行无掩模蚀刻
机译:无掩模光刻和非传统图案的创新技术
机译:用于制造多层微图案主体的光掩模结构以及使用该掩模结构的多层微图案主体的制造方法
机译:半导体结构绝缘体上硅结构,形成方法,涉及在去除掩模之前/期间以受控方式在半导体衬底中形成直至掩模下表面水平的绝缘区。
机译:反射掩模毛坯,其制造方法以及制造反射掩模的方法,能够在多层反射层上形成防止化学腐蚀的保护层。
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。