一种晶体硅各向异性湿法腐蚀方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅各向异性湿法腐蚀方法，属于新材料技术领域。本发明将金属催化硅腐蚀技术与金属腐蚀技术相结合，提出了一种新型的晶体硅各向异性湿法腐蚀方法，可用于晶体硅表面大面积微纳米尺度金字塔阵列绒面结构制备。该技术简单易行，不需要添加双氧水等强氧化剂，成本低廉，可工业化生产，所制备的大面积微纳米尺度金字塔阵列绒面光吸收性能优异，因此在太阳能电池等领域具有广泛的应用前景。