GaAs MESFETs欧姆接触的快速评估和改进

摘要

提出了金属－半导体欧姆接触退化的快速评估方法－温度斜坡快速评价法，并建立了自动评估系统，用该方法和系统测得的欧姆接触退化激活能，和传统方法相比，耗时少，所需样品少，所得结果和传统方法一致，同时，针对传统ＡｕＧｅＮｉ／Ａｕ欧姆接触系统的缺点，提出了加ＴｉＮ扩阻挡层的新型欧姆接触系统。实验表明，新型欧姆接触系统的可行性远远优于传统ＡｕＧｅＮｉ／Ａｕ欧姆接触系统。