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王丽影; 秦顺利; 马洪宇;
矿山互联网应用技术国家地方联合工程实验室,江苏徐州 221008;
中国矿业大学物联网(感知矿山)研究中心,江苏徐州 221008;
煤矿安全; MEMS甲烷传感器; 硅微加热器; 功率优化; 掺杂浓度; 有限元分析; 正交试验;
机译:MEMS平台上嵌入式共面镍合金微加热器的高灵敏度甲烷传感器的低温制作
机译:高温低功率CMOS兼容硅微加热器对甲烷的传感研究
机译:MEMS RTD传感器和MEMS加热器的微/纳米成型工艺注塑模具的构建
机译:用于气体传感器的低功率硅微加热器
机译:硅电容微传感器和静电微致动器的研究:朝着微机电系统(MEMS)迈进
机译:硅场效应晶体管两用传感器加热器杂交
机译:基于CFD和非硅MEMS技术的高功率芯片一种微通道散热器优化
机译:用于核爆炸监测的坚固耐用的低功率紧凑型硅mEms传感器的初步结果;会议文件
机译:基于硅加热器的MEMS甲烷传感器,其制造方法及其应用
机译:全硅MEMS甲烷传感器,燃料气体检测应用及制造方法
机译:嵌入微孔膜的微加热器的MEMS型催化燃烧式气体传感器
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