基于TiO2纳米管的矿用微纳电离式甲烷传感器基础研究

目录

声明

1绪论

1.1选题意义及应用背景

1.2微纳气体传感器研究现状

1.3本文的主要研究内容

2基于TiO2的电离式气体传感器制备及测试系统组建

2.1 阳极氧化法制备TiO2纳米管

2.2气体传感器测试系统的制备

2.3本章小结

3电离式气体传感器的仿真模型的搭建及模型验证

3.1仿真场域模型

3.2仿真物理计算模型

3.3等离子体化学反应

3.4 仿真模型的可靠性验证

3.5本章小结

4甲烷气体无火花放电特性及敏感机理仿真分析

4.1 CH4-N2混合气体等离子体反应式简化

4.2甲烷无火花放电特性及机理分析

4.3甲烷放电敏感机理

4.4本章小结

5甲烷电离式传感器性能仿真分析

5.1甲烷敏感性仿真分析

5.2平板结构与针-板结构传感器性能对比分析

5.3本章小结

6总结与展望

6.1论文总结

6.2工作展望

致谢

参考文献

附录