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【24h】

Study on Silicon Capacitive Microsensors and Electrostatic Microactuators: Towards a Micro Electro Mechanical System(MEMS)

机译：硅电容微传感器和静电微致动器的研究：朝着微机电系统（MEMS）迈进

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作者
鈴木健一郎;
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作者单位

東北大学;

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授予单位東北大学;
学科
学位博士
年度 1993
页码 1-144
总页数 144
原文格式 PDF
正文语种 eng
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