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基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法与应用

摘要

一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法,属于甲烷传感器及其制备方法,特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其制备方法与甲烷检测方法。该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器,硅加热器同时作为甲烷敏感元件、不需催化剂载体及催化剂材料。该甲烷传感器的加工工艺与CMOS工艺兼容,若大批量生产具有价格低廉的优势,且可批量校准。该甲烷传感器具有功耗低、灵敏度高、响应速度快、缺乏氧气时不会对甲烷检测产生影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。

著录项

  • 公开/公告号CN104316576B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-05-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国矿业大学;

    申请/专利号CN201410607093.4

  • 发明设计人 马洪宇;秦顺利;王丽影;

    申请日2014-10-31

  • 分类号G01N27/14(20060101);

  • 代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人杨晓玲

  • 地址 221116 江苏省徐州市铜山区大学路中国矿业大学科研院

  • 入库时间 2022-08-23 09:56:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-05-31

    授权

    授权

  • 2017-05-17

    著录事项变更 IPC(主分类):G01N 27/14 变更前: 变更后: 申请日:20141031

    著录事项变更

  • 2017-04-26

    著录事项变更 IPC(主分类):G01N 27/14 变更前: 变更后: 申请日:20141031

    著录事项变更

  • 2015-02-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/14 申请日:20141031

    实质审查的生效

  • 2015-01-28

    公开

    公开

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