基于硅加热器的MEMS甲烷传感器

摘要

一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器，适用于工矿企业中对瓦斯防治时使用。以P型硅为衬底，在所述P型硅衬底上形成N型硅；以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件；所述硅加热元件包括两个固定端、硅加热器、两个硅悬臂；该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器，硅加热器同时作为甲烷敏感元件、不需催化剂载体及催化剂材料。该甲烷传感器具有功耗低、灵敏度高、响应速度快、缺乏氧气时不会对甲烷检测产生影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。