新颖的双间隔RF MEM可变电容的设计与模拟

摘要

设计了一种可用于射频(RF)通信系统中的MEM平行板可变电容,采用新颖的双间隔(two-gap)结构、金属铝极板、折叠"Y"形支撑和厚度不均的可动极板.用CoventorWare软件模拟了电容的C-V特性,当控制电压从0 变化到10 V时,RF信号电容相应从0.37 pF增加到5.64 pF,变容比约为15.24∶1;用HFSS软件模拟了电容的S11参数,电容的品质因数Q在1.8 GHz下约为77.78.