高可靠性RF MEMS单刀双掷开关设计及加工关键技术研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1 研究背景和意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 RF MEMS 开关的研究现状

1.2.2 单刀双掷开关的研究现状

1.3 论文的主要研究内容及章节安排

第二章射频MEMS单刀双开关设计

2.1 引言

2.2 共面波导设计

2.3 功分器设计

2.4.1 MEMS 开关的原理及重要参数

2.4.2 高可靠性、高隔离度 MEMS 开关设计

2.5 射频 MEMS 单刀双掷开关的设计

2.6 本章小结

第三章 射频MEMS单刀双掷开关制作工艺技术研究

3.1 工艺流程设计

3.2 SPDT版图设计

3.2.1 版图设计规则

3.2.2 版图介绍

3.3 射频 MEMS 单刀双掷开关的工艺制作流程

3.4 射频 MEMS 单刀双掷开关关键工艺研究

3.4.1 聚酰亚胺牺牲层的制备

3.4.2 高平整度牺牲层牺牲层的制备

3.4.3 凸点钝化技术研究

3.4.4 电镀技术研究

3.5 工艺流水结果

3.6 本章小结

第四章 射频MEMS开关测试与分析

4.1.1 驱动电压测试

4.1.2 开关时间测试

4.1.3 寿命测试

4.2 射频 MEMS 开关微波性能的测试

4.3 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 论文的主要成果

5.2 论文的主要创新点

5.3 论文下一步研究工作的展望

参考文献

攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果

致 谢